薄膜型SnO<,2>气敏材料及器件的制备和性能研究

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【摘要】

：

为改善SnO_2气敏元件的敏感特性,本论文采用平面结构,利用溶胶-凝胶法和纳米薄膜的优点,制备掺杂Ag的SnO_2气敏薄膜,该体系气敏元件至今少有文献综合报道。基于纳米薄膜的特点,本文首先制备了平面型Pt加热器和工作电极的Al2O3基片。其次,本论文用溶胶-凝胶法制备了Sb掺杂的SnO_2纳米薄膜,研究了Sb的添加量对元件电导率和气敏性能的影响。实验发现,随着Sb含量的增加,元件的电导率逐渐增大。

【作者】

：

洪求三

【机构】

：

广州大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

SnO2薄膜溶胶-凝胶法掺杂气敏复阻抗分析

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