本文对原子力显微镜(Atom Force Microscope，AFM)的基本理论、系统构成，AFM探针制备方法和AFM探针形貌对扫描图像质量的影响等作了较为全面的评述，指出了一些尚待探讨的问题。对其中AFM探针的较佳制备条件、AFM探针的形状和曲率半径与AFM图像质量之间的关系等具体问题进行了研究并得到了一些新的结果。 本文使用交流电化学腐蚀法，通过改变电压幅值来制作AFM的隧道探针。实验表明，先采用幅值为20V的50Hz交流电压对直径为0.32mm的钨丝进行初始腐蚀，经过适当时间再将交流电压调整为4V，并保持至腐蚀结束，可获得满足AFM需要的隧道针尖；另外，采用镍金属圆圈作为阴极来制作AFM微悬臂探针，让直径为0.085mm的钨丝穿过圆圈上的NaOH溶液薄膜中心，在幅值为4V的50Hz交流电压下进行腐蚀，直至钨丝下端脱落，可获得满足AFM需要的微悬臂探针。 利用所制备的钨针尖对云母进行了多次重复扫描，分别得出了其原子结构的透视与俯视形貌图，并将这些图像与针尖的形貌进行比较研究，得出AFM隧道探针尖端曲率半径对AFM图像分辨率影响较大，当隧道针尖的曲率半径大于250nm时，难以得到稳定的图象且容易出现过大隧道电流现象；当隧道针尖的曲率半径小于160nm时，图象清晰，分辨率高。探针形状在曲率半径相同时对图象质量的影响不明显。