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32通道CMUT环阵收发电路设计与测试
【摘 要】
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随着超声成像系统在医学领域的广泛应用,各类超声换能器探头成为国内外研究的重点,传统的压电超声传感器,由于制作工艺的局限性,难以实现更大的突破,而基于MEMS技术制作的新型超声换能器则具备传统压电传感器所不具有的优势,有望在超声探头市场取代传统的压电传感器。目前基于MEMS技术制作的新型超声换能器主要有CMUT换能器以及PMUT换能器,相较于PMUT换能器,CMUT换能器具有宽频带、高灵敏度、低声阻
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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