论文部分内容阅读
微振动是影响精密仪器、设备精度和性能的关键因素。随着精密仪器设备精度的不断提高,市场对精密隔振系统的性能要求也越来越高。本文参考现有的隔振系统设计方案,从隔振系统支撑方式、关键部件的布置、选型和设计以及隔振性能测试三个方面进行了相关研究。本文分析隔振系统的隔振需求,参考现有隔振产品的性能参数,提出了主动隔振系统的设计要求和隔振系统的设计方案;对隔振系统结构形式、传感器和作动器的布置、弹性元件和作动器的选型设计进行了分析;建立了线性化的隔振系统动力学模型。对压缩弹簧进行设计和分析校核;建立了压缩弹簧的有限元模型,对压缩弹簧轴向和径向刚度以及屈曲模态进行了分析;测试了压缩弹簧的轴向刚度,测试结果和有限元分析误差为5.1%。设计了台面的详细结构;建立了上板结构的有限元模型,分析其自由模态;进行上板的试验模态测试,上板的一阶模态固有频率达到106.8Hz,测试结果和有限元分析结果的误差在10%以内。计算了隔振系统的各阶固有频率;设计隔振系统激振试验测试其固有频率,测试结果与理论模型较为吻合;测试了隔振系统的传递率,主动隔振带宽在1-200Hz,主动控制下被动共振峰处的传递率降低了28dB。