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低浓度待检测物的快速收集及其分离操作,在生物工程、反恐以及军事科技等领域均具有重要意义,也是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)领域的一个瓶颈问题,引起了越来越多人的关注。目前有多种方法可应用于微粒子的收集与分离,其中基于电场机制的方法应用得较为广泛。随着MEMS中微加工技术的不断发展,微纳米级的微电极能够很容易地集成到微流体器件上。介电泳(DEP, Dielectrophoresis)技术是一门新兴技术,它在粒子的收集与分离等方面具有