二氧化钛薄膜具有光催化和光致亲水性两种优越的性质,然而在实际中受到激发波长范围窄,太阳光利用率低的限制,无法大规模应用。本文采用等离子体处理和银掺杂来分别提高TiO2的亲水性和光催化性,并积极探讨其中的改性机理。首先,采用直流磁控溅射制备TiO2薄膜,以亲水性作为表征,建立起制备参数与亲水性的关系,探索具有最佳亲水性的制备参数。并对此参数下制备的TiO2薄膜进行XRD和SEM检测,结果表明所制备的薄膜是具有良好表面形貌的锐钛矿相TiO2薄膜。然后,采用O2和N2等离子体处理制备的TiO2薄膜,并探讨处理参数如压强、时间及功率,对亲水性的影响。并对比O2和N2等离子体处理的样品在黑暗下保存1h后的亲水性,结合XPS分析等离子体处理的改性机理。结果表明,O2等离子体处理后的TiO2薄膜亲水性不与氧空位浓度成正比,推测O2等离子体处理后的TiO2薄膜的超亲水性与处理过程中吸附在Ti5c的O原子有关。最后,采用热蒸发镀在TiO2薄膜表面沉积Ag膜来制备了纳米Ag/TiO2复合膜。通过紫外可见光分度计的吸收谱分析,探索具有等离子体谐振效应(SPR)的Ag膜制备参数,并探讨退火对吸收峰位的影响,测试SEM分析其中的原因。以R6G和亚甲基蓝作为降解对象,探讨Ag/TiO2复合膜对TiO2光催化的改善作用,实验发现退火之后的Ag/TiO2复合膜在UV和可见光下都具有最好的光催化性能。而纳米Ag在UV和可见光下的改性机理不同,所扮演的角色不同。