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低频振动一直都是影响精密光学仪器或设备精度和性能的关键因素。随着精密仪器、设备的测量精度不断提高,对于精密主动隔振系统的要求也越来越高。本文依托于国家重大专项,针对扫描电镜、扫描探针显微镜等精密光学仪器的工作环境,设计对于1-30Hz的低频振动具有良好隔振效果的台式主动隔振系统的控制器,相比于传统的反馈主动隔振系统,台式主动隔振系统添加的前馈控制项可以很好地解决负载振动与地基振动之间共振高峰无法消除的现象。首先,本文分析控制系统的隔振需求,参考现有的隔振产品,提出了控制系统的设计要求,论述了台式隔振