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TiCl_4-CH_3SiCl_3-H_2-Ar体系下CVD法制备Ti-Si-C复合涂层的研究

来源 :中南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jhyh001

【作 者】

：

杨钢宜 

【出 处】

：

中南大学

【发表日期】

：

2018年09期

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