脉宽调制器作为射频电源的一部分,起到调节激光器输出光功率的作用,在激光加工中必不可少。本文分析了国内外大功率射频激励CO2激光器脉宽调制器的信号要求,采用高速数字处理器TMS320F2812,设计了基于该微处理器的电路,实现了复杂的脉宽调制信号。论文的主要内容包括:(1)分析了激光器的工作过程,确定了脉宽调制器的点火脉冲、维持脉冲、连续工作方式调制脉冲、脉冲工作方式调制脉冲、斜坡发生器工作方式调制脉冲的各项频率和占空比参数,并设计了外部控制方案。(2)针对脉宽调制信号的要求,分析了TMS320F2812微处理器的外设功能,设计了基于它的脉宽调制电路,包含通讯电路、供电电路、A/D采样电路等。采用了确保脉宽调制器能够更加稳定工作的防干扰硬件电路。(3)采用软件CCS3.1编程实现了PWM输出和外部实时控制。利用示波器实验检测,脉宽调制电路能够实现如下脉冲:频率为5KHz、占空比为2%的点火脉冲和维持脉冲;频率为40KHz、占空比为1%~99%范围内可调的连续工作方式调制脉冲;调制信号频率为10Hz~3KHz范围内可调,占空比为1%~99%范围内可调的脉冲工作方式调制脉冲。在脉冲工作方式中,调制信号高电平期间脉冲的频率为40KHz,占空比可调。低电平期间脉冲的频率为5KHz,占空比为2%。所有脉冲的上升沿和下降沿时间都小于0.5μs。该脉宽调制器的研究,对于实现射频激励CO2激光器输出光功率的调节起到关键作用。