串联无阀压电微泵性能及实验研究

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无阀压电微泵是利用压电振子施加电压后的机械振动,改变泵腔体积大小产生泵腔内外压力差,实现流体连续输送的部件,其机构简单,易于加工,性能稳定,是机械电子分析系统中最重要的流体驱动器件之一,广泛应用在精细化工、航空航天等领域。由于单腔无阀压电微泵泵送性能较弱,本文提出了一种双腔串联的无阀压电微泵,并进行理论分析和实验研究。理论分析:通过对收缩/扩张管的工作原理、压电效应原理、无阀微泵微流道效率的理论阐述,选择了合适的压电振子,分析了收缩/扩张管的阻力特性,并绘制出无阀微泵的基本结构示意图,以及微泵的“吸
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