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以锗为衬底的太阳能电池相比于硅电池具有更高的光电转换效率和更低的发电成本,而且具有更好的耐高温性能和更好的空间抗辐射能力。在单晶锗衬底上外延砷化镓等半导体材料,对锗衬底的表面质量要求非常高,为此研究单晶锗片高效低损伤的研磨加工工艺,对于降低生产成本和扩大单晶锗应用领域有着重要意义。研磨加工是传统的光学材料加工工艺,但目前对单晶锗片进行研磨加工工艺研究的很少。为此首先在理论上进行了锗片与磨盘的相对运动分析,得出了研磨轨迹的形状及分布特点,指出了影响轨迹分布的因素；建立了固着磨料高速机械化学研磨