【摘 要】
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随着科学技术的发展及新材料、新能源等多学科领域的交叉融合,特别是MEMS及超精密的不断发展,对应用在天文望远镜、激光打标、激光雕刻、光学扫描镜、自由空间光通信等设备的镜面偏转机构提出了更高的要求(高精度与大行程),而传统的镜面扫描系统存在着体积大、偏转位移小、成本高、驱动电压高且多为散装,大大限制了其应用。如何实现大行程与高精度的并存成为世界各地学者研究的重点,利用超磁致伸缩材料响应速度快、高精度
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