【摘 要】
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皮拉尼真空计是利用压强改变电阻周围的热效应,从而由电信号反映发热电阻周围压强的一种气压检测传感器。MEMS加工技术的快速发展,推动着微机械皮拉尼真空计的工艺不断成熟。其中,选择合适的材料制作悬浮平板会是提高皮拉尼真空计性能的关键因素之一,一般微机械皮拉尼真空计的悬浮平板采用二氧化硅、氮化硅、或者两者的复合膜制作而成,制备此类介质薄膜需要专门的沉积设备,而且难以消除薄膜的残余应力,制作成本较高且加工
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皮拉尼真空计是利用压强改变电阻周围的热效应,从而由电信号反映发热电阻周围压强的一种气压检测传感器。MEMS加工技术的快速发展,推动着微机械皮拉尼真空计的工艺不断成熟。其中,选择合适的材料制作悬浮平板会是提高皮拉尼真空计性能的关键因素之一,一般微机械皮拉尼真空计的悬浮平板采用二氧化硅、氮化硅、或者两者的复合膜制作而成,制备此类介质薄膜需要专门的沉积设备,而且难以消除薄膜的残余应力,制作成本较高且加工难度大。光敏聚酰亚胺(PSPI)作为一种易于图形化的材料因其化学性质稳定、热稳定性优良、机械性能强以及容
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