【摘 要】
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随着时代进步,微电子产业的蓬勃发展,近年来随着微型电子产品的迅猛发展,军用、通信类及其它消费类电子产品逐步朝着小巧、轻薄、便携以及高可靠性等多个方面发展。传统贵金属电子浆料由于价格昂贵等因素,无法满足现代化电子产品的需要,新的贱金属电子浆料因此脱颖而出,逐渐取代传统的电子浆料,成为新时代电子产品的配套产品。本论文以低温共烧陶瓷（low temperature co-fired ceramic（LT
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随着时代进步,微电子产业的蓬勃发展,近年来随着微型电子产品的迅猛发展,军用、通信类及其它消费类电子产品逐步朝着小巧、轻薄、便携以及高可靠性等多个方面发展。传统贵金属电子浆料由于价格昂贵等因素,无法满足现代化电子产品的需要,新的贱金属电子浆料因此脱颖而出,逐渐取代传统的电子浆料,成为新时代电子产品的配套产品。本论文以低温共烧陶瓷（low temperature co-fired ceramic（LTCC））内电极铜导电浆料为研究对象,研究了化学处理对铜粉的分散性及还原性及有机载体配比对浆料粘度的影响,玻璃粉的选择,以及烧结工艺及性能的影响。借助冷场发射扫描电镜,观察、分析了晶粒尺寸、铜膜膜厚、铜膜表面形貌结构,并采用四探针法测量了方阻阻值,采用安东帕MCR302测试仪测量了浆料粘度,采用ISO划格法测量了烧结后膜层的附着力。主要研究结果如下:（1）使用油酸对铜粉进行了预处理,使其在80℃干燥时不会被氧化,制得的铜浆料导电性能良好;同时使用三乙醇胺作为分散剂对铜粉进行了分散预处理,减少了纳米铜粉的团聚现象;（2）制备了Li2O-B2O3-Zn O体系玻璃粉,质量比例为27:27:46,软熔温度为830℃,制备出的浆料在930～980℃烧结后,铜膜致密,其中在950℃下烧结,方阻为3.9 mΩ/□;（3）使用不同分散剂制备了可调控浆料粘度的有机载体,最终确定聚乙烯吡咯烷酮作为分散剂制作浆料,制备出粘度在200 Pa·s的浆料,其流变性、丝网印刷性能良好;（4）研究了铜浆料的在气氛中烧结的性能,获得了导电性能良好的铜电极。方阻值最低可达2.9 mΩ/□。通过本工作的研究得到了性能可调,适用于还原气氛下使用的铜电极浆料。
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