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现代社会的飞速发展需要对日益增加的各种信息进行及时的传输和处理Bragg光栅具有选频、衍射、和反射等功能,制成的相应光子集成器件在光通信系统中有着重要的作用。本文首先介绍了聚合物波导Bragg光栅的应用和发展现状,然后简要介绍了马卡提里近似解析法、有效折射率法等常用的矩形波导的分析方法,以及波导Bragg光栅的基本原理。结合波导光栅和热光材料的特性,应用Rsoft软件进行了仿真设计,最终确定了光栅的基本尺寸并得到了优化的仿真输出结果。为了实现良好的热光调谐效应,本文选用了热光系数较大的ZPU系列聚合物作为波导制作材料,分别以ZPU44和二氧化硅为下包层,通过纳米压印技术,研究了RIE刻蚀、紫外曝光套刻、高温蒸镀铝膜等传统的微加工工艺,尤其是压印后光栅的刻蚀工艺,最终确定最优工艺参数,制备了两种热光调谐聚合物波导Bragg光栅,并在聚合物上包层上制备了加热电极,通过电压驱动的方式实现了对聚合物波导中心波长的调谐。此外,本文还利用波长测试系统、光环行器、保偏光纤和探测器等测试了两种热光调谐聚合物波导Bragg光栅芯片的输入、输出特性,并通过外加电压的方式测试芯片的热光调谐效应。实验结果表明,以二氧化硅为下包层的聚合物波导Bragg光栅的中心波长在1553nm左右,3dB带宽为0.86nm,在0V到20V的驱动电压范围内,中心波长实现了从1552.98nm到1546.82nm的调谐,调谐范围为6.16nm；以ZPU44为下包层的聚合物波导Bragg光栅的中心波长在1545nm左右,3dB带宽为0.12nm,在0V到20V的驱动电压范围内,中心波长实现了从1546.88nm到1525.25nm的调谐,调谐范围为21.63nm。波导光栅的透射、反射、热光调谐等特性的测试结果与设计结果基本吻合,为可调谐Bragg光栅的进一步研究奠定了良好的基础。