【摘 要】
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化学气相沉积法是制备大面积高质量石墨烯的重要途径。但是,在多晶金属材料上实现层数可控的石墨烯生长仍然是一个挑战。针对这一问题,本论文开展了以下研究：(1)利用化学气相
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化学气相沉积法是制备大面积高质量石墨烯的重要途径。但是,在多晶金属材料上实现层数可控的石墨烯生长仍然是一个挑战。针对这一问题,本论文开展了以下研究：(1)利用化学气相沉积方法,在晶圆尺寸的镍膜表面合成了石墨烯薄膜材料。通过对反应气氛、镍膜厚度及生长时间的调控,实现了对石墨烯薄膜层数及均匀性的调节。将这种制备方法拓展到铜箔、铜镍合金、镍箔和泡沫镍等其他衬底上,同样得到了高质量的石墨烯薄膜材料。(2)通过将镍膜上生长的石墨烯做成霍尔器件和场效应器件,研究了所制备的石墨烯薄膜的电学性质。结果表明,以化学气相沉积法在镍膜表面合成的石墨烯薄膜的室温迁移率高达2900cm2V-1s-1,其层间扭曲的少层石墨烯薄膜具有优异的透明导电性能,它在透光率为92%时的方块电阻可低至100Ω/□。
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