光学干涉计量中的位相测量方法研究

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该文在文献综述的基础上,对位相测量的许多方面做了详细的研究和改进,包括:(1)时间相移方法中,采用待定系数法获得了一系列简单、实用、性能良好的等步长相移算法;(2)时间相移方法中,通过误差分析的方法研究讨论了不长相移算法中相移步长的选取问题.给出了合适的相移步长的选择依据;(3)空间相移方法中,提出和实现了基于正交位相Ronchi光棚的实时偏移系统,分析了误差特性;(4)载波条纹的Fourier变换方法中,详细研究了窗函数的选择和评价设计者载波频率的确定问是;(5)人间载波相移方法中,对载波图相邻像素的位相关系采用二次曲线描述,可极大提高空间载波相移方法的理论精度.(6)位相展开中,发展了基于调制度分析的加权最小二乘法,数值计算和实际例子都证实了其有效性.
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