半导体芯片制造车间制造执行系统关键技术研究与开发

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近年来,随着各类新兴技术对半导体的需求不断增长,半导体战略地位越来越重要。但是我国半导体行业的整体制造水平相对落后,自给率仅在10%左右。同时,由于半导体制造过程具有工艺复杂,可重入性的特点,传统的人工排程远不能达到生产要求。因此运用信息化手段,从制造过程信息化、生产调度优化等方面提升半导体企业的制造水平,是当今半导体制造领域的一个重要研究方向。针对半导体制造企业存在的问题,以提升企业的制造水平为目标,本文以半导体“图案成型”生产系统为研究对象,研究了面向半导体的制造执行系统,并具体对生产排程与调度
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