MEMS(微机电系统)技术的发展带来了引信技术发展的新机遇,改变了引信设计者传统的引信设计思想,引信的智能化、集成化程度进一步提高;MEMS引信具有体积小、成本低、可靠性高等诸多优点,同时引信有更多的空间容纳多传感器探测电路和主装药,提高了弹药的精确度和杀伤力。本文提出了一种新型MEMS引信安全与解除保险机构设计方案,重点对MEMS隔爆机构进行了详细设计。采用MEMS技术实现了MEMS隔爆机构的平面化与微型化设计,该隔爆机构依靠电磁吸力解除保险。本文首先简要介绍了MEMS技术及其在军事和引信中的应用,介绍了国外的几种典型的MEMS引信安全与解除保险的结构特点和作用原理,在此基础上提出了电磁驱动式的MEMS引信安全与解除保险机构的设计方案。其次对MEMS隔爆机构进行了重点设计。MEMS隔爆机构是MEMS引信安全与解除保险装置的核心机构。本文主要是在初期MEMS隔爆机构设计的基础上进行了改进设计,针对结构设计中存在的问题,提出了两种改进设计方案,两种方案中MEMS隔爆机构的滑块驱动原理不同,其中涉及微弹簧、滑块、锁销等关键部件的设计。接下来对MEMS引信安全与解除保险机构的微驱动器的进行了设计。通过对LIGA工艺和UV-LIGA工艺进行比较分析,选用基于SU-8胶的UV-LIGA工艺制备本结构,并完成了基本技术路线的设计。最后对制备完成后的两套MEMS隔爆机构进行微驱动、拉力测试以及抗高过载实验,实验显示电磁微驱动器能成功驱动锁销和滑块解除保险,两套隔爆机构的锁销最大驱动力为10mN和18mN,方案一MEMS隔爆机构的滑块最大驱动拉力为13mN,且均能承受20000g以上的冲击加速度。