铝掺杂ZnO薄膜结构与光学特性的研究

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【摘要】

：

掺铝氧化锌(AZO)薄膜是一种透明导电膜,对可见光有较高的透射率,在高温下不易与氢发生互扩散,因此在活性氢和氢等离子体环境中化学稳定性高,不易使太阳能电池材料活性降低。AZO膜的材料来源丰富,价格便宜,在太阳能电池、液晶显示和防静电等领域,有广泛的应用前景。本论文系统地研究了采用KrF准分子脉冲激光沉积技术制备AZO薄膜的工艺和性质,根据对AZO薄膜结构和光学特性的研究,优化了薄膜生长的条件,得到

【作者】

：

孙方华

【机构】

：

曲阜师范大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

AZO 脉冲激光沉积溶胶-凝胶透射率 X射线衍射扫面电子显微镜

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