半导体泵浦稀有气体激光器具备输出功率高和脉冲能量高、量子效率高、良好的大气与光纤传输特性、加工速度快等优点,是未来高能激光武器、太空能量传输、远程激光加工等领域的重要光源,受到国内外诸多研究团队的广泛重视。控制系统作为激光器的核心技术之一,同样也值得深入研究。本论文研究了半导体泵浦稀有气体激光器实验平台控制系统的硬件设备、PC端软件设计以及激光器硬件软件的调试。论文的主要工作如下。(1)完成了半导体泵浦稀有气体激光实验平台的整体控制方案。介绍了该实验系统工作原理,通过对半导体泵浦稀有气体激光器实验系统放电部分和泵浦光部分的研究,分别对放电系统和光泵浦系统进行了控制系统设计。(2)通过对半导体泵浦稀有气体激光实验系统分析,选择LWGY型涡轮流量计和NTC热敏电阻分别作为水冷装置的传感器和温度的传感传感器。利用西门子S7-200PLC作为控制系统主要控制器,完成了PLC控制程序,并对程序中激光功率控制子程序进行阐述,同时对程序中核心模块进行了说明。(3)为了实现电压、电流、气压、激光功率的实时监控、数据存储以方便后续实验数据分析,本论文选择组态王软件作为PC端上位机控制软件,通过组态王软件设计实现半导体泵浦稀有气体激光器实验平台控制,并实现激光功率实时波形显示和监控,同时实现了数据的收集和保存,方便后续实验数据分析模型的建立。(4)通过对激光器输出功率测试、系统稳定性测试等方法完成上位机软件和硬件设备的调试。通过PID反馈算法分析,在PLC程序编写中,反复调试PID中比例系数、积分常数、微分常数实现激光功率稳定输出。