压电式压力传感器是MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)器件中应用广泛的一类,其敏感材料多为块体和薄膜。与块体和薄膜相比,悬空的多铁纳米复合纤维具有很大的长径比,可以将由压电效应引起的位移放大,从而有可能提高传感器性能。本文对多铁纳米纤维压力传感器进行理论分析和结构设计,通过对MEMS加工工艺的研究,设计多铁纳米纤维压力传感器的制备工艺流程,并加工制作出此传感器样片。首先,基于多铁纳米纤维设计出一种MEMS压电式压力传感器。运用相关知识分析传感器的工作原理,并设计传感器的结构尺寸。同时比较分析不同结构尺寸对传感器输出电压的影响,以提高传感器性能。其次,根据结构设计与理论计算,结合实验室具体条件,研究多铁纳米纤维的制备工艺与微加工工艺,在溶胶—凝胶法制备前驱体溶液的前提下利用静电纺丝技术制备多铁纳米纤维,并使其与MEMS技术制作的金属叉指电极及空腔硅基体很好的结合,在此基础上完成加工工艺流程设计。最后,按照工艺流程设计制作传感器样片,通过调整和改进以上的工艺步骤,对多铁纳米纤维的制备及传感器性能改进进行研究。对影响实验质量的因素进行分析和讨论,最终完成基于多铁纳米纤维压力传感器的制作并对多铁纳米纤维及传感器样片进行测试与分析。