随着人类社会的高速发展已经导致了越来越严重的环境污染问题，其中生活废水排放量大、成分复杂、难降解物质多。传统的处理方法包括物理沉降法、化学分解法和生物降解法等，但是存在降解不完全，能耗较高和二次污染等问题。TiO2光催化剂因其结构稳定、催化性能高、无毒性，是目前新型污水处理领域的研究热点之一。非贵金属离子掺杂和贵金属沉积等改性工艺过程都能提高TiO2的光催化性能。但是对于非贵金属沉积TiO2光催化性能改进的研究较少。本论文首先采用磁控溅射并在O2中退火的方法制备了倾斜的TiO2纳米阵列，然后使用辅助型考夫曼离子枪进行Cu和Fe的沉积，对倾斜TiO2纳米阵列进行表面改性，最后对修饰后的倾斜TiO2纳米阵列进行结构、性能的表征，并讨论了Cu和Fe辅助沉积对倾斜TiO2纳米阵列的光催化性能的影响。论文结果表明，Cu和Fe以非晶形式存在于倾斜TiO2纳米阵列表面；由于肖脱基势垒以及形成的Ti(III)缺陷，光生电子和空穴对复合的机会减小，Cu沉积显著提高了倾斜TiO2纳米阵列在紫外光下的光催化性能，但是对其在可见光下的光催化性能影响不明显；Fe沉积对倾斜TiO2纳米阵列光催化性能影响不明显。