伴随着微纳米技术、微机电系统和仿生器械的快速发展,对于结构及其构件的变形和粘附的研究已经引起了科学家和工程师的广泛关注。当物体的尺寸减小到微纳米尺度时,其表面积与体积之比非常大,故而其体积力相对于表面力而言非常微小,因而此时结构的表/界面效应便凸现出来。微纳观尺度下,在结构的表/界面力与其弹性变形的共同作用下,微结构会发生粘附,这个过程涉及到大变形、非线性和多物理场耦合等问题,因而对其进行理论分析以及相关实验的验证存在较大难度,故而目前关于该领域的研究正处于方兴未艾之态。首先本文对圆板的毛细粘附问题进行了全面的探索,为微机电系统及其他微结构的设计提供理论基础。在这个模型中,首先建立了圆板,液膜和基底系统的能量泛函,包括拉伸弹性能,弯曲弹性能和系统的表面能。由最小势能原理,在变分过程中考虑到边界的变动,推导出了控制方程和横截性边界条件。计算了圆板的径向位移,挠度和粘附半径,并与实验结果比较。结果表明,大变形模型的结果与实验结果吻合的更好,证明了大变形模型更加精确。接下来提出考虑大变形和伸长的梁在集中力作用下剥离的模型。同样考虑边界变动对能量泛函进行变分,推导出控制方程和横截性边界条件。发现剥离的相关参数,如粘附长度,外力和伸长量只与无量纲的最大位移和粘附功这两个无量纲参数有关。将计算结果同小变形模型和大变形不可伸长模型对比。也进行了实验发现本文模型与实验结果吻合较好。本文的分析加深了对微尺度下梁和板状的弹性结构粘附及剥离机理的理解。并在微纳米器件的结构设计和微纳米打印等领域有更广泛的应用。