【摘 要】
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子孔径拼接是利用小口径干涉仪实现大口径光学元件低成本、高分辨率检测的一种有效方法。本文首先对子孔径拼接检测原理进行了详细地研究,并重点介绍了拼接模式的选取及子孔
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子孔径拼接是利用小口径干涉仪实现大口径光学元件低成本、高分辨率检测的一种有效方法。本文首先对子孔径拼接检测原理进行了详细地研究,并重点介绍了拼接模式的选取及子孔径数目的确定。其次,在对“局部均化误差”算法进行了改进的基础上,利用MATLAB软件编写了拼接算法程序,并利用仿真实验验证了拼接程序的正确性。同时,建立了一套拼接检测系统,展开了大口径平面光学元件的子孔径拼接检测实验研究,实验利用二维分布的9个60mm×60mm子孔径拼接检测120mm×120mm光学元件,检测结果PV值误差为2%,而RMS误差仅为0.27%。最后,对影响拼接精度因素中的子孔径重叠区域大小和拼接模式进行了实验研究,研究结果表明只有在不增加子孔径数目的情况下增大重叠区域面积才能有效地提高拼接精度,并且拼接模式中的并行模式在控制拼接精度方面要优于串行模式。
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