光通信系统调制滤光膜的研制

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为了提高光通信系统中光信号接收的强度,通常采用滤光片对接收信号进行调制处理。针对光通信系统的参数要求,根据干涉截止滤光片和带通滤光片的理论知识,并对在工作波段常用的薄膜材料进行分析,最终选取Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,选择合适的膜系,借助膜系设计软件设计优化。采用电子束加热蒸发,并加以离子辅助沉积技术的方式制备薄膜。通过测试分析和模拟,解决了晶控和光控部分膜厚不匹配的问题;通过调整和优化工艺参数,减小了因温度和湿度对光学性能的影响。在K9基底上镀制了700-780nm和830-1100nm平均透过率小于0.2%,808nm处透过率大于95%,1064nm处透过率小于0.1%,1550nm处透过率大于99%的调制滤光片,该滤光片通过了恶劣的环境测试,满足光通信系统中光信号接收的使用要求。
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