薄膜太阳能电池的二元光栅结构

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薄膜太阳能电池具有材料用量少,结构灵活,易于规模化生产等优势,有着广阔的市场前景,一直是光伏技术的主要研究方向。由于薄膜太阳能电池的有源层较薄,难以实现对入射太阳光的充分吸收。在薄膜太阳能电池表面刻蚀光栅结构,利用光栅的衍射增加有源层的光传播距离,能有效提高薄膜太阳能电池的光电转化效率,目前人们主要采取在透明导电膜和硅基薄膜间刻蚀各种刻槽形貌的相位光栅结构,其工艺简单,实用性强,一直是人们研究的热点。相位光栅刻槽形貌通常为矩形,但是这种光栅只能在某一波长附近具有较高的衍射效率。薄膜太阳能电池
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