本文概述了微细加工技术及应用特点,介绍了常用微细特种加工及复合微细加工工艺,重点分析了微细超声加工和微细电解加工技术的特点与应用现状,提出超声—电解复合微细加工新技术构想,进而提出本文研究工作内容与目标。介绍了超声加工与电解加工的原理、设备、应用特点与工艺局限性,阐述了超声—电解复合微细加工的工艺条件,论述了超声与电解技术复合实现微细加工的必要性、可行性与技术优势。根据微细加工的技术要求,结合超声加工及电解加工设备特点,构造加工参数可较大范围调节的超声—电解复合微细加工装置,完善了阴极与工件间的微压力调节装置、变幅杆的设计与制作、工作液的有效供给方式、微器件的精确定位方法、加工过程参数检测显示及加工精度测量等工艺环节,为试验研究提供了基础条件。微细阴极制作工艺是超声—电解复合微细加工的关键问题,本文在分析微细阴极工作特点及制作难点的基础上,利用“组合电加工”工艺制作微细阴极。利用精密电加工机床,通过“平动拷贝”、“内、外面转换”及“多轴联动复合进给”等微细放电方式,制作复合微细加工试验研究所用的阴极,并阐述了制作各类截面微细阴极的基本方法。对压电陶瓷、硅片、硬质合金等材料进行了单一超声加工试验及分析,对硬质合金(YG8、YT15等)进行了超声—电解复合微细加工试验,检验了超声—电解复合微细加工工艺的可行性和复合加工装置工作的可靠性;重点讨论了加工方式及电解电压幅值、脉冲频率等参数对加工效率、精度、表面质量及工具阴极损耗的影响规律,验证了超声—电解复合微细加工在硬脆金属材料加工中的技术优势。本文的研究工作为超声—电解复合微细加工工艺的应用建立了基础条件。论文最后对超声—电解复合微细加工技术特点进行分析、总结,提出现有工艺方案存在的问题及完善的措施,并对后续研究工作提出了设想和展望。