【摘 要】
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随着光学的发展,非球面在光学系统中的应用越来越广泛,而高精度的检验技术是制约非球面发展的重要因素。本文研究一种高精度的非球面检验技术--利用双重计算全息(Twin-CGH:Twin
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随着光学的发展,非球面在光学系统中的应用越来越广泛,而高精度的检验技术是制约非球面发展的重要因素。本文研究一种高精度的非球面检验技术--利用双重计算全息(Twin-CGH:Twin Computer-generated Hologram)对非球面进行绝对检验。
对利用Twin-CGH进行球面和非球面绝对检验进行了理论和实验方面的一些研究。介绍了计算全息(CGH)的编码原理及制作,进而分析了两个波面混合的Twin-CGH的编码融合方法;用Twin-CGH进行了扩展的球面绝对检验,分别分离出两个球面波状态下的Twin-CGH的图形刻写误差及基底误差,将两种球面波状态下的两种误差分别进行相互推导,并将推导出的结果与实验结果进行比较,其差值小于λ/40(PV),验证了Twin-CGH中误差传递的可行性;利用特殊设计的Twin-CGH对一个高次非球面进行了七步绝对检验,提取出非球面的绝对面形误差,并对CGH制造误差进行了简单讨论。
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