微细电解线切割加工技术是以微米尺度的线电极作为工具电极,利用阳极金属在电解液中发生电化学溶解的原理,结合二维平面运动,对金属材料进行切割成形的一种加工方法。由于加工过程阴极线电极不发生损耗,故电极直径可以小至数微米。结合纳秒脉冲技术,微细电解线切割可以加工出小至数微米的复杂二维微结构。本文主要进行了多线电极微细电解加工的基础研究,工作内容分别为:1、针对微细电解线切割加工效率较低,提出了多线电极微细电解加工的方法,并且建立了多线电极微细电解的加工模型。2、设计并搭建了微细电解线切割机床。根据多线电极微细电解的加工特点,分别对机床本体、控制系统、监测系统和隔振系统进行了设计。3、进行了多线电极微细电解加工工艺试验研究。试验分析了电源电压、脉冲宽度、脉冲周期、进给速度对缝宽的影响。研究了不同线电极数量下加工电参数对加工效率的影响。4、利用优化的加工参数,采用三根线电极,在弹性钴基合金工件上,加工出一致性较高的微细群结构。5、提出了间歇回退方式以利于电解产物的排出,试验对比分析了单次进给量和间歇回退幅值/频率对加工过程的影响。对于间歇回退微幅往复运丝微细电解线切割工艺进行了初步探索。