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自适应光学是一门集科学性和工程性为一体的综合学科,它研究实时自动改善光波波前质量的理论、系统、技术和工程。微小型自适应光学采用MEMS(微机电技术)技术,极大的改变了传统自适应光学器件体积、重量大的特点,使得自适应光学器件通过卫星上空成为可能,在卫星上装载自适应光学系统可以极大改善了卫星的图像质量,提高了卫星的分辨率。有限元的是近年发展非常迅速的一门学科,在多个学科领域有着广泛的应用,微小自适应光学系统中的变形反射镜常采用有限元的方法来分析。MEMS器件也大多采用有限元分析,分析