【摘 要】
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目前在砷化镓半导体激光器的制备中,需要将衬底减薄到一定程度,衬底存在电阻,会产生发热现象,减薄后的衬底背面存在表面损伤层,导致减薄后的外延片变形且容易碎裂,从而影响成
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目前在砷化镓半导体激光器的制备中,需要将衬底减薄到一定程度,衬底存在电阻,会产生发热现象,减薄后的衬底背面存在表面损伤层,导致减薄后的外延片变形且容易碎裂,从而影响成品率。因此,需要通过减薄工艺,降低芯片欧姆接触的电阻,减少器件发热；经过抛光工艺,去除上述表面损伤层,消除残余应力,最终达到半导体激光器性能的提高。本文首先建立了减薄与抛光中颗粒的微极性模型,然后对垂直缓进给减薄进行了改进,并做了力学和运动学的分析,提出了减薄采用摇摆式垂直切身进给原理,抛光采取化学机械抛光原理,再加上工艺的优化可以改善半导体激光器芯片的质量。最终通过实验验证了用该理论和工艺制作砷化镓半导体激光器芯片是有一定技术支持的。该实验采用的仪器是英国Logitech公司的PM5型研磨与化学机械抛光设备,利用台阶仪,探针机检测实验结果,并进行比较,给出综合评价结果。
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