声表面波传感器变送电路的设计

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声表面波(SAW)传感器拥有体积小、灵敏度高、成本低等优势,在环境监测,化学处理控制和临床分析等方面,获得了越来越广泛的应用。SAW传感器检测的主要途径是通过测量其频率、相位、幅度的变化来得知被测量的变化。本论文针对声表面波传感器测试的需要,设计了三种不同的SAW传感器检测电路。针对延迟线型SAW传感器,我们设计了PLL检测电路。将SAW传感器置于压控振荡器和频率鉴相器之间。锁相环的锁相输出频率即为SAW传感器的中心频率。针对谐振器型单端SAW传感器,我们分别设计了测频和测相两种电路。测频电路采用双通道的结构,其中一路采用涂膜的SAW传感器作为测量通道,另一路采用未涂膜的SAW器件作为参考通道。两通道的振荡信号被送入混频器中得到差频信号。将差频信号进行低通滤波、整形、放大后,频率计数模块实现测量信号频率的功能并将结果送往LCD模块显示。在测相电路中,用SAW振荡器代替信号发生器作为信号源,将此信号分为两路,一路经过SAW传感器移相以后送入鉴相器,另一路直接通入鉴相器,以此比较SAW传感器两端相位差,达到相位检测功能。论文还介绍了三种电路的测试结果。测频电路被应用于湿敏特性和DMMP气敏特性测试中。在这两种测试中,酞菁铜(CuPc)掺杂聚乙烯吡咯烷酮(PVP)敏感膜和聚偏氟乙烯(PVDF)敏感膜分别作为湿敏膜和气敏膜。谐振器型单端SAW传感器频率检测电路和谐振器型单端SAW传感器相位检测电路的对比测试结果表明使用测频手段的SAW传感器检测电路的灵敏度远高于使用测相手段的SAW传感器检测电路。
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