光固化成型技术是利用光束与液态光敏树脂之间的光化学反应，使其固化成所需实体模型的先进制造技术。其中光与树脂的作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响，随着光成型技术不断向微纳加工方向进展，提高固化成型分辨率成为光固化研究的关键。 光固化成型技术由于采用的曝光光源与树脂材料不同，加工工艺各不相同。为了研究不同固化工艺对加工分辨率的影响，本文基于蒙特卡罗方法，建立了一种通用的光固化作用模型，模拟曝光光子与液态树脂的复杂作用过程，主要工作归纳如下： 1.基于光子输运理论，采用蒙特卡罗方法，建立光固化过程的一般模型。首先通过随机变量的抽样算法模拟曝光光子入射和光子在树脂中的传输过程，然后统计树脂中能量的吸收分布，最后模拟计算固化物的形貌和大小； 2.采用遗传算法，并结合自由深度曝光实验结果，获得模型中所需的树脂光学参数如吸收系数，散射系数，散射方向因子，树脂的临界固化能量等； 3.根据模拟算法，计算了紫外微细光束固化过程和飞秒激光双光子固化过程，并通过曝光固化实验验证了该算法的可靠性。 通过本文的工作，建立了模拟光固化过程的通用算法。利用该算法，不仅可以模拟单光子线性吸收同时也可以用来研究双光子的非线性吸收过程，为优化加工工艺参量提供依据，为调制曝光光束进一步改善加工分辨率，设计曝光系统提供理论基础。