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热释电红外器件具有响应时间短、工作温度范围宽、体均小、功耗低等优点,在军事领域和民用领域有着广泛应用,一直是非制冷红外器件的研究热点。铌酸锂单晶(LN)具有居里温度高、介电常数小、介电损耗低等优势,是较为理想的热释电材料。近年来,通过离子注入剥离技术制备的铌酸锂单晶薄膜具有与单晶块体基本一致的晶体结构和热释电性能,显著提高了热释电器件的探测性能,使得通过微细加工工艺制备基于LN单晶薄膜材料多元红外器件,满足手势识别、多气体探测等领域对红外探测器件的需求成为可能。针对以上需求,本文提出了通过离子束刻蚀