目前，传统电互连的功耗、RC时延、互连密度等问题使集成电路的发展出现了巨大的瓶颈，光互连以高带宽、低损耗、小尺寸等特点受到广泛关注。波导光互连能否使集成电路继续以“摩尔定律”规律发展，各个光子器件的小型化和高性能化至关重要。波导光互连利用WDM技术可以在波导中传输多个信号，这需要复用/解复用器。AWG近25年的发展，尺寸方面从10cm2发展到0.01mm2，但小型化仍是今后发展的方向。为了详细研究U型AWG的结构，本文根据一般U型AWG的布局公式，搭建了8×8、 λ=0.8nm的深U型AWG，并将其作为分析和仿真实例。它的尺寸为67μm×195μm。仿真结果显示，深U型AWG损耗在-1dB左右，输出信道不一致性较低。通过三种优化波导布局的措施，本文提出一种M型AWG，理论上不会导致串扰的增加，损耗性能也不会大幅度下降。在保证引入相同相位前提下，M型AWG一定程度上可以降低器件尺寸。