多层膜反射镜和薄膜滤光片是极紫外(EUV)波段空间太阳望远镜的关键元件，其性能好坏影响望远镜的成像质量。望远镜工作时其反射镜和滤光片几乎是完全暴露在外层空间自然环境下，在低地球轨道条件下主要是遭受质子束的直接辐照。很多光学系统在空间飞行一段时间后，成像质量会降低，其中最重要的原因之一就是载能束流辐照使光学元件性能退化。　　 本文工作主要是模拟空间环境中质子的辐射情况，研究了EUV波段空间太阳望远镜中Mo/Si多层膜反射镜和Al薄膜滤光片在质子束辐照下光学性能的变化。对质子束辐照后实验样品材料内部形成的缺陷进行观察和分析，探讨这些结构缺陷的形成和演化规律及其与材料变形行为之间的关系。实验结果表明，由于带电粒子的辐照损伤，质子辐照会使Mo/Si多层膜反射镜的反射率降低，且质子能量越低、剂量越大对多层膜的反射率影响越明显。原子力显微镜测量辐照后Mo/Si多层膜的表面粗糙度比辐照前明显增加，致使散射光线能量逐渐增大而最终导致反射率的降低。对于Al薄膜滤光片来说，由于质子辐照使滤光片受质子侵蚀，Al原子被击出发生质量损失，表面形态发生了变化，造成其光学性能的退化。　　 在实验结果的基础上应用Monte Carlo方法模拟计算了一定能量和剂量的质子与所用的实验材料相互作用后产生的辐照损伤，从而对实验结果进行了对比和深入的分析，获取了大量新颖和有价值的结论，为揭示辐照条件下材料的变形机制以及预测材料的使用寿命提供必要的理论储备。