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压电陶瓷微定位平台鲁棒自适应控制方法研究
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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2020年1期
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压电材料作为传统智能材料的代表,在我国高精尖制造行业中正扮演着越来越重要的角色。以压电材料为核心元件的压电微定位平台具有定位精度高、响应速度快、输出力大等优点被广泛应用在精密制造、生物工程和微电子等领域中,成为微纳科技领域的研究热点。但在实际应用过程中,由于压电材料固有的迟滞非线性,会降低压电微定位平台的定位精度,导致震荡的产生。因此,消除迟滞非线性是压电陶瓷微定位平台在实际应用中必须解决的问题。
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