应用于AlN陶瓷混合结合厚膜金属化浆料的研究

来源 :天津大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:amy23683
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文是在研究厚膜导体浆料制备工艺、组成、性能的基础上,以氮化铝(AlN)基片厚膜金属化浆料为研究对象,以降低膜层与基片之间的热阻,同时又能获得较高附着强度为主要研究目标,以溶胶-凝胶、球磨湿混、丝网印刷和低温烧成等工艺为技术特征,采用XRD, SEM,TG-DSC以及厚膜金属层电性能测试等分析手段,研究了制备工艺、粘接剂对厚膜金属化浆料性能的影响规律。研究了采用溶胶-凝胶法制备低熔玻璃料,按照配方(wt%)CaO(40),B2O3(15),SiO2(35),BaO(10),制得了低熔(773.3℃) CaO-B2O3-SiO2-BaO体系玻璃粘结剂。研究了金属化浆料粘度的工艺控制,实验发现:浆料的粘度在150~240Pa·s时,具有较好的可印刷性。研究了表面活性剂和分散剂对金属化膜层流平性的影响。研究了玻璃粘结剂组成、含量对金属化膜层性能的影响,实验发现当玻璃含量为10%时,Ag导体层与AlN基片之间附着强度最大(11.6MPa);在固含量不变的情况下,随着玻璃含量的增加,方阻逐渐增大。XRD分析表明TiB2做粘结剂时在高温下与AlN接触生成硼铝尖晶石(2Al2O3·B2O3),促进了金属化膜层与AlN陶瓷的紧密结合。考察了玻璃与TiB2混合对于金属化膜层的性能的影响,实验发现:混合结合的金属化膜层的表面方阻和附着强度更好。获得最佳金属化层性能的工艺条件为:金属化浆料中Ag、TiB2、玻璃、有机载体的含量分别为74.25%、0.75%、5%、20%;室温到600℃空气烧结,600℃以后N2气氛烧结,850℃保温10min。在此工艺下可以获得附着力达12.3MPa,表面方阻为8.9 mΩ/□的光亮、致密金属化膜层。
其他文献
随着经济全球化和国际贸易自由化的发展,国际贸易与环境问题越来越受到重视,理论界对国际贸易与环境保护之间的争议已久,产生了各种说法与解释;合适的政策措施有利于解决全球
南水北调属于国家重点工程,工程的启动将对京津华北地区、黄河中上游地区缺水问题以及我国北方地区的社会经济和城市发展、改善环境起到重要影响,是实现我国经济可持续发展的重
为实现男女间真正的平等 ,公共政策的制定应当具有社会性别视角。社会性别理论认为 :男女之间的差异是在“社会文化中形成的” ,是“社会体制习俗”把人组织到规范好的“男性
专业技能和独立性是确保审计质量的基础。审计人员只有形成对被审对象的专业意见,才有可能履行独立鉴证的职责。专业技能是审计与其他职业的根本区别,其核心就是审计判断。研究
氢处理使Ti6Al4V的力学性能和微观组织发生变化。本文通过对含氢量分别为0.0 wt%、0.1 wt%、0.2 wt%、0.3 wt%、0.4 wt%、0.5 wt%的Ti6Al4V进行室温压缩和拉伸试验,分析置氢
目的:探讨输液静脉留置针在临床应用过程中并发症发生的原因,并提出相应防范措施。方法:对浙江省台州市中西医结合医院进行输液的1800例患者进行观察分析,调查患者满意度情况
冷弯型钢是一种经济断面型钢,特别是在减轻重量方面,冷弯型钢一直以优化截面形状而不是单纯靠增加材料用量和改善材料性能来节约资源,这一特点使得冷弯型钢在建筑、交通、机
滚切式定尺剪是一种先进的中厚板剪切机,主要用于钢板的定尺剪切。目前滚切剪已在我国的中厚钢板生产中得到初步的应用,但此技术在国内独立研究上尚存在许多问题,尤其在驱动
圆盘浇铸机的平稳转动运行是保证浇铸出高质量阳极板的重要条件,本文简述了国内铜圆盘浇铸机的发展情况,并对目前主要使用的浇铸机驱动方式、结构形式对平稳性的影响进行了分
《c小调夜曲(Op.48No.1)》是肖邦最优秀的、最具代表性的夜曲之一。本文主要通过微观与宏观相结合,以微观分析为主、宏观分析为辅的方式对肖邦《c小调夜曲(Op.48No.1)》进行