【摘 要】
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随着光学及光学镀膜技术的发展,光学薄膜广泛应用于国防、通信、激光、能源、医疗等各领域。半导体可饱和吸收镜（SESAM）、石墨烯、碳纳米管、黑磷、拓扑绝缘体、过渡金属硫化物等作为主要的被动锁模器件被广泛应用于脉冲激光器中,但是这些吸收体存在损伤阈值低,透光率低等一些问题还未被解决。基于此,本文在SESAM上分别镀制高反膜和减反膜,以获取不同性能的SESAM器件并在石墨烯可饱和吸收体上镀减反膜。具体内
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随着光学及光学镀膜技术的发展,光学薄膜广泛应用于国防、通信、激光、能源、医疗等各领域。半导体可饱和吸收镜（SESAM）、石墨烯、碳纳米管、黑磷、拓扑绝缘体、过渡金属硫化物等作为主要的被动锁模器件被广泛应用于脉冲激光器中,但是这些吸收体存在损伤阈值低,透光率低等一些问题还未被解决。基于此,本文在SESAM上分别镀制高反膜和减反膜,以获取不同性能的SESAM器件并在石墨烯可饱和吸收体上镀减反膜。具体内容如下:1.介绍SESAM和可饱和吸收体材料石墨烯、光学薄膜的电磁理论基础及设计理论,TFCalc模拟软件和本论文所采用的实验方法及仪器。2.研究单层介质薄膜的透射率和退火温度对介质薄膜透射率的影响,研究Ta2O5/SiO2及Ta2O5/MgF2双层减反膜透射率及退火温度对双层减反膜透射率的影响。3.Ta2O5、SiO2、MgF2三种介质膜料和石墨烯光学常数的提取,利用TFCalc进行膜系设计,以粘附有石墨烯材料的玻璃为基底,模拟减反膜并进行镀膜实验。结果显示基底的反射率平均值为6.08%,镀制双层减反膜后反射率平均值为4.34%,镀制的光学薄膜起到了增透的效果。4.以Ta2O5/SiO2作为介质膜模拟减反膜和以Ta2O5/MgF2为介质膜模拟高反膜,并根据模拟结果在SESAM上进行镀膜。实验结果如下,SESAM的初始平均反射率为22.6%,在镀减反膜后,反射率平均值变为6%,达到了减反效果;镀高反膜后,反射率变为78.2%,达到了增反效果。
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