得益于声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)技术和半导体工艺技术的蓬勃发展,由于无线声表面波传感器非接触、快速、无电源、抗干扰,易编码,保密性好,成本低的特点,越来越多的声表面波器件被应用在各种恶劣、封闭或者有毒的环境中。本文研究的无线声表面波质量传感器对于微质量的测量是声表面波气敏传感器的基础。本论文在充分了解声表面波原理的基础上,介绍了叉指换能器的?函数模型,脉冲响应模型和等效电路模型,并利用改进后的?函数模型对新型结构的叉指换能器结构进行建模及仿真,又利用了多条耦合器减少了器件的二阶效应,并且在YZ铌酸锂作为压电基片的基础上,确定了三角形IDT结构的各项参数、延迟线长度、质量负载区大小,在matlab平台上仿真了器件的组合声路的频率响应。其中所设计的无线声表面波质量传感器的工作中心频率为109MHZ,插入损耗约为8.3dB,带宽为7dB,旁瓣抑制为35dB,灵敏度达到44.084 KHz/ug,相比于规则型IDT结构的器件有较好的工作范围和旁瓣抑制性能,并完成了器件的版图设计。然后分析了待测薄膜的厚度,电导率和环境温度对器件的影响。最后由于压电基片材料较高的稳定频率系数,采用了双声路的结构来补偿诱温度带来的误差,并设计了相应的后端调理电路,在multsim平台对调理电路进行设计与仿真,最后选择了zigbee无线传输模块对器件的信号进行无线从传输。