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随着工业的发展，大量的废水废物带来严重的环境污染问题，而传统的治理方法已不能满足人们的需求，在治理过程中如何利用清洁能源、避免产生二次污染成为人们关注的热点。光催化氧化技术能完全矿化目标污染物、无二次污染，从而在废水治理领域有很好的应用前景。在众多光催化剂中，WO3的禁带宽度约为2.5eV，能吸收波长小于500nm的可见光，光转换效率高。 本课题采用射频反应磁控溅射法在玻璃基片上沉积了非晶态WO3薄膜，并探讨了其光催化活性。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描隧道显微镜(STM)、X射线光电子能谱仪(XPS)等仪器对所制薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析。本实验中，通过监测薄膜在紫外光照射下对亚甲基蓝和罗丹明B溶液的光降解过程，研究了制备工艺参数和Mo掺杂对WO3薄膜的光催化活性的影响。通过重复光催化降解实验测定WO3薄膜的使用寿命，采用超声去离子水洗的方法对失活薄膜进行活性再生。 研究结果表明：所制备的WO3薄膜和WO3:Mo薄膜均为非晶态结构，表面为疏松结构。在W靶溅射功率为80W，氧气流量为15SCCM，溅射时间为60min条件下制备的WO3薄膜具有最佳的光催化活性。WO3薄膜的厚度阈值为632nm，当薄膜厚度小于阈值时，其光催化活性随着薄膜厚度的增加而增加；当薄膜厚度大于阈值时，光催化活性趋于稳定。紫外光照3h后，WO3薄膜对亚甲基蓝和罗丹明B溶液的最大降解率分别为83.26％和72.73%。重复使用3次后，新制WO3薄膜对亚甲基蓝的降解率保持在75%以上，重复使用7次后，薄膜基本丧失光催化活性。采用超声去离子水处理30min的方法可使已失活的薄膜对亚甲基蓝的降解率从20%恢复至81%。 Mo离子掺杂并未使WO3薄膜的光催化活性大幅提高，但显著降低了WO3薄膜的厚度阈值，即使得薄膜在较小的厚度条件下亦可具备相当的光降解效率，可有效缩短薄膜的制备时间。