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随着IC产业、微纳加工制造、生物医学工程和精密测量工程等的快速发展,对精密运动平台的精度和行程提出了更高的要求。结合传统定位平台单级驱动和宏微双级驱动的优点,本文提出了一款基于刚柔耦合设计的精密运动平台,对其进行结构设计和力学分析,并建立控制系统模型进行阶跃响应仿真,最后搭建实验系统研究刚柔耦合运动平台的静、动态性能。首先,本文介绍了精密运动平台的研究背景和意义,阐述现有平台的结构设计和控制方法的国内外发展现状,对现有的运动平台的优缺点进行分析,进而提出本文的设计方案。其次,在Creo软件中建立刚柔