【摘 要】
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本文主要用紫外光探测器的宽禁带半导体TiO薄膜及其组分调变的复合氧化物材料的制备和结构子光电性能的研究.文中利用溶胶—凝胶法制备了TiO薄膜材料,研究了不同烧结温度对材料结构性质和光学性质的影响.初步探索性地利用TiO作为基体材料制作了MSM型紫外光探测器.另外,利用溶胶—凝胶法分别制备了MnTiO,SrTiO,LaTiO,NdTiO合金薄膜,并深入研究了它们的结构和光学性质.
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本文主要用紫外光探测器的宽禁带半导体TiO<,2>薄膜及其组分调变的复合氧化物材料的制备和结构子光电性能的研究.文中利用溶胶—凝胶法制备了TiO<,2>薄膜材料,研究了不同烧结温度对材料结构性质和光学性质的影响.初步探索性地利用TiO<,2>作为基体材料制作了MSM型紫外光探测器.另外,利用溶胶—凝胶法分别制备了Mn<,x>Ti<,1-x>O<,2>,Sr<,x>Ti<,1-x>O<,2>,La<,x>Ti<,1-x>O<,2>,Nd<,x>Ti<,1-x>O<,2>合金薄膜,并深入研究了它们的结构和光学性质.
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