垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Lasers,简称VCSEL)以其优异的性能有望成为信息时代的新光源。本论文设计和制作了980nm 垂直腔面发射激光器列阵,主要内容如下: 从多量子阱的速率方程出发得出了阈值电流的表达式;计算了注入电流与输出功率的关系;由垂直腔底发射激光器的电流传播模型得出了热源分布。分析了腔镜反射率、量子阱数等参数对阈值电流、输出光功率的影响,并根据理论计算对器件参数进行了优化设计。对垂直腔面发射激光器的湿法腐蚀技术、选择氧化工艺、合金工艺等关键工艺进行了研究,得到了最佳工艺条件。采用氧化物限制方法制作的垂直腔底发射激光器,有源区直径为500μm、600μm 的单管在室温下均获得了最高连续光输出功率1.95W,是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率值。研究了热阻、发射波长、光谱半高宽、光输出功率随有源区直径和注入电流的关系。研究了直径200μm 的器件的近场和远场分布,结果表明底发射器件电流分布均匀,阈值时光强分布为高斯型,为基模输出。研制出980nm 垂直腔面发射激光列阵,测试了输出功率和光谱,并与相同出光面积的单管器件进行了比较。