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紫外探测器、传感器、短波长发光和激光二极管等光电子器件,在光通讯、光存储、显示等领域具有广泛的应用前景。而ZnO等宽禁带半导体材料是非常有希望的侯选材料,因此ZnO的研究已经成为国内外研究的热点。然而ZnO系列光电子器件没有广泛应用的关键问题有两个:一是p型掺杂问题,二是能带匹配问题。但这两个关键问题都要求制备出高质量的ZnO薄膜。针对这个问题,本论文用MBE在大失配的Al2O3(0001)衬底上生长高质量的ZnO单晶薄膜进行了探索,对ZnO薄膜的制备条件、结构特性和光学特性