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本文对红外焦平面杜瓦排气残余气体分析进行了实验研究。文章用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测，跟踪主要气体成分的分压强的大小变化，初步确定影响杜瓦真空度的残余气体主要是H2、H2O、CH4、NH3，重点研究其来源，尝试测出其脱附温度，得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响，并对吸气剂的性能进行分析，讨论了影响试验准确度的干扰因素，提出改进排气工艺的可能方向，最后总结本课题的工作以及今后要继续进行的研究工作。本课题研究成果对优化现有排气系统和过程以及操作方法，保证真空排气工艺的一致性和稳定性，提高产品质量，缩短生产时间、节约成本十分有益。