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石英目前是微机电系统重要的研究方向,但其晶面的多样性以及复杂的各向异性使得湿法刻蚀结果难以预测。论文通过石英半球以及不同晶面衬底湿法刻蚀实验并基于Wulff-Jaccodine法的思想,提出更为简单高效的石英刻蚀形貌计算方法。基于此法对石英不同晶面刻蚀出现的结构面进行深入的探索,得到不同晶面各向异性的内在规律,能有效缩减特定微结构的研发周期,节约实验成本。论文主要内容如下:首先,分析了石英晶体结构、刻蚀机理,以石英半球为对象,通过在五种不同刻蚀环境下的湿法刻蚀建立石英全晶面刻蚀速率库,并分析了石英在