激光合成波长干涉技术的信号处理方法研究

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【摘要】

：

近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求。本论文依托于“激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制”国家自然科学基金项目(No.50827501),设计并研制了基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)的激光合成波长干涉纳米位移测量信号处理系统,实现了大小数计数正确结合的纳米位移测量。论文在描述了基于合成波长条纹细分原理的基

【作者】

：

张萍

【机构】

：

浙江理工大学

【发表日期】

：

2010年12期

【关键词】

：

激光干涉合成波长 CPLD 纳米位移测量信号处理

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