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随着我国经济的高速发展，大气污染问题日益严重。挥发性有机物（VOCs）是大气污染的重要组成部分，对人体及环境造成的危害不容忽视。低温等离子体技术在处理低浓度工业VOCs时，具有处理效率高、流程短及适用范围广等优点，逐步显示出在技术、经济上的优势。论文利用低温等离子体法降解气态VOCs实验系统及吸附存储-气体循环低温等离子体催化氧化吸附态VOCs实验系统，以单组分苯、甲苯、苯乙烯以及混合组分苯/甲苯、苯/苯乙烯为研究对象，考察了单组分VOC及双组分VOCs的降解效果；研究了初始浓度、输入电压、吸附存储量、氧化背景气及催化剂种类对单组分VOC及双组分VOCs降解的影响，并分析了催化剂对O3及N2O副产物产生的影响规律，为工业应用提供了基本的设计基础。以γ-Al2O3为载体，采用浸渍法制备了MnOx-AgOx、CoOx-CeOx复合金属氧化物催化剂，应用BET、SEM及XRD对催化剂进行了表征。主要结论如下：（1）单一低温等离子体实验系统降解气态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯时，相同条件下，污染物的初始浓度越低，其去除率越高；输入电压越高，其去除率越高；降解主要气相产物为CO2、H2O及少量的CO，副产物为N2O和O3，并存在污染物残留，FT-IR未检出NO与NO2。单一低温等离子体降解实验系统对苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的去除效果较有限。（2）气体循环运行方式下，采用γ-Al2O3作为吸附剂时，吸附态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的COx产率及CO2选择性随着吸附存储量的增大而减小。氧气为背景气体时比空气条件下，COx产率及CO2选择性均有所提高。（3）气体循环运行方式下，γ-Al2O3负载MnOx-AgOx、CoOx-CeOx催化剂后，降解吸附态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的COx产率及CO2选择性均有所提高，产生的O3浓度比无催化剂时明显降低。COx产率、CO2选择性及对O3的分解能力大小依次为MnOx-AgOx/γ-Al2O3＞CoOx-CeOx/γ-Al2O3＞γ-Al2O3。（4）FT-IR分析结果表明，气流循环运行方式下，等离子体氧化吸附态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的主要气相产物为CO2、H2O及少量的CO，副产物主要为O3，与氧气背景下气体产物不同的是，空气背景下产生了少量的副产物N2O。（5）空气背景，气体循环条件下，低温等离子体降解吸附态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的N2O浓度随着时间的延长而增加。CoOx-CeOx、MnOx-AgOx复合金属氧化物存在时，对N2O的产生均有一定的抑制作用。对N2O产生的抑制能力大小依次为CoOx-CeOx/γ-Al2O3＞MnOx-AgOx/γ-Al2O3＞γ-Al2O3。（6）低温等离子体催化氧化吸附态苯、甲苯、苯乙烯、苯/甲苯、苯/苯乙烯的实验表明，气体循环条件下，可以实现深度催化氧化，有效避免等离子体解吸附造成的污染。气体循环降解90min后，CO2选择性均大于94%以上，降解效率由高到低依次为：甲苯＞苯/甲苯＞苯＞苯/苯乙烯＞苯乙烯。